8700萬!國產光刻機核心供應商華卓精科獲渾璞投資等戰略投資

本文由銦泰材料與「微電子製造」聯合推送

日前,集成電路裝備及關鍵零部件企業華卓精科(股票代碼:834733)獲得由渾璞投資、中國國際金融股份和紅星美凱龍控股集團共計8700萬元人民幣戰略投資。其中,渾璞投資公司的投資額為6600萬元。

光刻機是集成電路最具關鍵性的基礎裝備之一,但中高端產品幾乎被國際廠商壟斷,光刻機成為阻礙中國集成電路發展的重要障礙,因此,推進光刻機的國產化勢在必行。

華卓精科由科技部首批重點領域「超精密機械與測控創新團隊」負責人、中組部國家萬人計劃專家、清華大學機械工程系長聘教授、博士生導師,機械電子工程研究所所長朱煜教授於2012年創立,專注於集成電路裝備技術研發及產業化,在集成電路製造用前道光刻機的重要部件——雙工件台的研發和產業化方面處於領先地位,是除世界光刻機龍頭——荷蘭ASML公司外全球第二家可以生產光刻機雙工件台的企業。華卓精科也是清華大學集成電路設備技術17年技術積累的產業化平台,公司挾高精尖技術向下俯沖,在雷射退火、矽片堆疊、掃描干涉光刻、平面光柵、高精密運動台、靜電卡盤、隔振器等集成電路裝備和關鍵零部件領域處於國內領先水平。

據悉,華卓精科於2015年登陸新三板,是中國集成電路裝備的領軍企業,業績增長迅速,過去四年淨利潤增長34倍。

光刻機被周光召先生譽為新時代「兩彈一星」般的「神器」和世界上最精密的儀器。而光刻機雙工件台是光刻機的核心子系統,因要在最大加速度不小於30 m/s^2、最大速度不低於500m/s的工作狀態下,使運動誤差保持在2奈米之內,也就是人頭髮絲直徑的四萬分之一,可以想像為兩架時速1000公里/小時的飛機在任意時刻的飛行位置偏差不超過一個微米。如此極端的性能指標,使光刻機雙工件台成為當之無愧的「精密機械之王」 ,其製造也成為世界級難題。

華卓精科肩負雙工件台國產化這一世紀挑戰,承接清華大學2001年以來在「863計劃」光刻機工件台方面的核心技術,已申請發明專利231項,其中已授權中國發明專利139項、授權國際發明專利23項。華卓精科於2014年聯合清華大學成功推出了中國第一台滿足65奈米光刻機需求的雙工件台樣機,現在正在向28奈米制程的浸沒式光刻機雙工件台這一世界級技術高地發起沖鋒。

渾璞投資是一家專注於集成電路產業鏈布局的股權投資公司。此次領投華卓精科,是繼今年八月份領投全球領先的磁性材料和新一代磁存儲器刻蝕裝備企業——魯汶儀器後,在集成電路裝備領域的又一次重大布局。

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